同濟大學李同保院士團隊扎根納米計量關鍵技術二十余年,提出了有別于歐美的、具有完全自主知識產權的量子化實物基準的納米計量體系。團隊面向傳統產業納米計量體系存在的標準物質溯源鏈長、計量校準儀器魯棒性弱、產業應用覆蓋面窄的三方面的難題。揭示了量子化躍遷頻率鎖定的激光冷原子溝道化機制,研制了直接溯源型標準物質、直接溯源型光柵干涉儀、計量型原子力顯微鏡、晶圓級標準片等。團隊整體技術成果已達到國際先進水平,其中直接溯源型長度、角度標準物質和直接溯源型光柵干涉儀已達到國際領先水平。在集成電路等納米制造行業和德國聯邦物理技術研究院(PTB)、中國計量測試技術研究院、中國航空工業北京長城計量測試技術研究所等計量機構實現典型應用,滿足了國家相關戰略需求。
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